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半导体设备

高精度激光调阻设备

编辑：产品宣传部发布时间：2020-04-29

主要技术特点

具有多种修调功能，可以修调厚薄膜电阻器网络、电容网络、瓷基薄膜集成元件和实现混合集成电路功能修调等。
应用了大量的LSI、VLSI电路，以大部分的软件操作代替许多硬件功能。
通过硬件直接与激光器、光束定位、分步重复及测量等系统相连接。
可以修调混合集成电路、厚薄膜电阻器网络、电容网络、瓷基薄膜集成元件。
修调D/A和A/D转换器的精度，V/F转换器的频率，有源滤波器的零点频率及运算放大器的失调电压。
具有IEEE488接口，可与其他测试设备进行数据传输。测量系统由采用精密电桥和矩阵组合的无源网络组成。
自主研发的测量系统，精度高，速度快，一致性好，全量程设计全范围调阻。
自主研发的调阻软件系统，支持多种不同调阻刀型，同时满足客户定制化需求。
设备功能强大，支持电阻、交直流电压电流等参数修调，设备稳定可靠，修调的产品参数值可靠性高，不会漂移。
运行及维护成本低，整机效率高、能耗低，自带防尘、防静电、漏电保护及人身安全保护功能，放心使用。
激光切割刀型包括 I型、II型、L型、U型、J型、M型、扫描型、I型集合、I型缩进、L型缩进、U型缩进。

主要技术参数

激光器类型：光纤激光器
中心波长： 1064nm
输出功率： 20W
重复频率： 1-100kHz
脉冲宽度： 3-500ns
典型光斑尺寸： 15-40μm
扫描范围： 70mm×70mm
扫描分辨率：1μm
重复定位精度： ±1μm
同轴监视系统： 2000W像素监视相机
运动平台：带光栅尺直线电机
运动范围： 200mm×300mm
重复定位精度： ±2μm
最大运动速度： 1000mm/s
电阻测量范围：50mΩ~100MΩ
低阻：±[0.05%+0.5%/R（Ω）]
中阻：±0.05%
高阻：±[ 0.05% +0.05% x R（MΩ） ]
电压测量范围：-10V--+50V
全量程测量精度：0.01%
测量时间误差补偿：2us/次，可根据客户需求自行调整

主要应用领域

片式电阻修调（01005、0201、0402、0603、0805、1206、1210、2010、2512）
厚膜电路（汽车电子、传感器、航天军工集成电路、通讯电子、仪器仪表、工业电子、高频高功率微波电路等中高端应用）
电路功能修调（调节电路输出电压、电流等其它电路功能信号），薄膜电路，薄膜电阻，适用于对各种精密MEMS器件和半导体Wafer的激光修调，如：惯性陀螺、高精度电阻器、模拟IC、各类薄膜传感器等的精密激光修调
压力传感器、电流传感器、光电传感器、充电器、衰减器等产品的激光修调，用于陀螺仪精密修刻，双面自动对焦，自动修刻
精密线性电阻激光修调,不仅可以对电阻的线性度进行修调，而且能同时对电阻的绝对阻值进行修调。对电流传感器、厚膜电路、薄膜电路、接近开关阻值进行修调
适用各类精密电位器（导塑/陶瓷）、位移传感器等产品的激光修刻，可满足各种军品/民品线位移传感器的精密修刻

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